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2018-03-23
隨著我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的持續(xù)穩(wěn)定增長(zhǎng)和生產(chǎn)技術(shù)的不斷創(chuàng)新發(fā)展，生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求越來(lái)越高。大規(guī)模和超大規(guī)模Ic生產(chǎn)中的前后道各工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境提出了更高要求，不僅僅要保持一定的溫、濕度、潔凈度，還需要對(duì)靜電防
2018-03-23
第一、ESA（ElectroStaticAttraction）靜電吸附，它會(huì)造成嚴(yán)重的污染。我們知道IC生產(chǎn)工藝要求的是潔凈車(chē)間或超凈車(chē)間。但國(guó)內(nèi)很少有廠家能做到無(wú)塵室里一粒particle都沒(méi)有，現(xiàn)在要求灰塵顆粒粒徑由原來(lái)的0.3μm降低到現(xiàn)
2018-03-23
靜電消除器也叫除靜電設(shè)備，主要功能是消除物與綜合物體表面的靜電。主要有以下幾種。離子棒：離子棒為棒型靜電消除器，分為有氣源型和無(wú)氣源型。原理是通過(guò)離子棒上面的電極針電離空氣釋放正負(fù)離子綜合物體表面靜電，安
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